YHJ 高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)
該產(chǎn)品具有承載大、徑向和軸向剛度高、角剛度好、高度低的特點(diǎn)；同時(shí)由于其隔塵設(shè)計(jì)，更加適應(yīng)生產(chǎn)加工環(huán)境。是各種高精度測(cè)量、光學(xué)測(cè)量組裝加工、芯片半導(dǎo)體測(cè)量加工、全物理仿真模擬設(shè)備等行業(yè)的極佳選擇。
主要特點(diǎn)
1、高精度: 氣體潤(rùn)滑，超高回轉(zhuǎn)精度。
2、高響應(yīng): 低摩擦系數(shù)，極高響應(yīng)速度。
3、無(wú)污染：無(wú)礦物油污染。
4、長(zhǎng)壽命：無(wú)接觸無(wú)磨損，超長(zhǎng)使用壽命。
5、個(gè)性化定制：高精度氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)專(zhuān)利技術(shù)，支持個(gè)性化定制。
技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)目 |
型號(hào) |
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標(biāo)準(zhǔn)版 |
升級(jí)版 |
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工作臺(tái)尺寸 |
Φ325mm |
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最大負(fù)載 |
2000N |
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額定轉(zhuǎn)速 |
100rpm |
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額定扭矩 |
19Nm |
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徑向剛度 |
260N/μm |
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軸向剛度 |
1200N/μm |
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允許最大偏載（2000N滿載時(shí)） |
60Nm |
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允許最大偏載（空載時(shí)） |
45Nm |
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供氣壓力 |
0.5±0.05 Mpa |
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軸向跳動(dòng)誤差 |
1 μm |
0.2 μm |
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徑向跳動(dòng)誤差 |
1.5 μm |
0.5 μm |
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定位精度 |
10 rad s |
3 rad s |
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重復(fù)定位精度 |
4 rad s |
1.5 rad s |
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