YHJART325 高精度氣浮轉(zhuǎn)臺
用于作為精密機(jī)床的轉(zhuǎn)臺部件其高精度和清潔的特性，尤為適合應(yīng)用于在半導(dǎo)體行業(yè)的超精加工機(jī)床中。
主要特點(diǎn)
● 高精度
由于氣浮轉(zhuǎn)臺的誤差均化效應(yīng)，能夠達(dá)到傳統(tǒng)機(jī)械轉(zhuǎn)臺無法達(dá)到的精度
● 低摩擦
由于軸承與轉(zhuǎn)臺軸之間不直接接觸，摩擦小，對電機(jī)的響應(yīng)更及時
● 清潔
氣浮轉(zhuǎn)臺使用氣體潤滑，無需考慮潤滑液泄露等問題,使用過程中干凈清潔
● 高剛度
在該款軸承中，設(shè)計(jì)的軸向剛度達(dá)1200N/μm,徑向剛度達(dá)260N/μm
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) | |
| 標(biāo)準(zhǔn)版 | 升級版 | |
| 工作臺尺寸 |
Φ325mm |
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| 最大負(fù)載 | 2000N | |
| 額定轉(zhuǎn)速 | 100RPM | |
| 額定扭矩 |
19Nm |
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| 徑向剛度 | 260N/Чm | |
| 軸向剛度 | 1200N/Чm | |
| 允許最大偏載(2000N滿載時) | 60Nm | |
| 允許最大偏載(空載時) | 45Nm | |
| 供氣壓力 | 0.5±0.05Mpa | |
| 軸向跳動誤差 | 1Чm | 0.2Чm |
| 徑向跳動誤差 | 1.5Чm | 0.5Чm |
| 定位精準(zhǔn) | 10rad s | 3rad s |
|
重復(fù)定位精度 |
4rad s | 1.5rad s |
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