YH2M8155 四軸精密單面研磨（拋光）機(jī)
典型加工零件
硅片
藍(lán)寶石
設(shè)備亮點(diǎn)
● 本機(jī)采用偏心行星式運(yùn)動(dòng)方式。
● 工件盤(pán)、拋光盤(pán)采用減速機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)，變頻器調(diào)速。
● 采用氣缸+電氣比例閥精確控制壓力大小，采用觸摸屏+PLC控制方式。
技術(shù)參數(shù)
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項(xiàng)目 |
單位 |
參數(shù) |
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精密下盤(pán)尺寸 |
mm |
φ1422 x 145 |
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壓盤(pán)尺寸及材質(zhì) |
mm |
φ550/SUS304平面度≤5um |
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設(shè)備重量 |
T |
9 |
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設(shè)備尺寸（L*W*H） |
mm |
2255 x 1875 x 3300 |
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盤(pán)面溫度檢測(cè)系統(tǒng) |
- |
具備 |
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拋光液供給系統(tǒng) |
- |
具備 |
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PP頭冷卻系統(tǒng) |
- |
可選配 |
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下盤(pán)冷卻系統(tǒng) |
- |
具備 |
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上壓盤(pán)電機(jī)強(qiáng)制驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)(上驅(qū)動(dòng)) 4套 |
- |
具備 |
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車刀伺服系統(tǒng) |
- |
可選配 |
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全工藝控制系統(tǒng) |
- |
具備/可編寫(xiě)10個(gè)步驟工藝（50recipe） |
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歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及讀取系統(tǒng) （溫度、轉(zhuǎn)速、時(shí)間、壓力） |
- |
具備 |
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水槍及氣槍 |
- |
具備 |
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上壓盤(pán)壓力及精度 |
- |
單個(gè)壓盤(pán)最大壓力500kg/ea 最小壓力40kg/ea 壓力波動(dòng)及誤差3%以內(nèi) |
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適用電源 |
- |
供電電壓：380V±10%/220V±10%，供電頻率：50Hz±2% |
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設(shè)備功率 |
kW |
≦30 |
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氣源壓力需求 |
Mpa |
末端壓力：0.5～0.7 |
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冷卻水需求 |
- |
壓力：2-4kg/cm2，流量：10-16L/min。溫度：8-18℃ |
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環(huán)境需求 |
- |
環(huán)境溫度：0℃-45℃ |
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