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13B-9L/8432C/8432E/8436B/18B/22B 高精度立式雙面研磨(拋光)機(jī)系列


該系列設(shè)備主要用于硅片、藍(lán)寶石晶體、陶瓷片、光學(xué)玻璃、石英晶體、手機(jī)屏幕玻璃、半導(dǎo)體材料等非金屬和金屬的硬脆性材料薄形精密零件的上、下兩平行端面的同時(shí)研磨和拋光。

典型加工零件

硅片

硅片

藍(lán)寶石

藍(lán)寶石

手機(jī)玻璃

手機(jī)玻璃

設(shè)備亮點(diǎn)

● 該系列機(jī)床屬于4道行星環(huán)形拋光運(yùn)動(dòng)。

● 采用內(nèi)齒圈凸輪機(jī)構(gòu)抬升方式,配有安全自鎖氣缸裝置。

● 太陽(yáng)輪、下盤、上盤、齒圈通過(guò)齒輪副+減速機(jī)傳動(dòng)方式驅(qū)動(dòng),變頻調(diào)速。

● 采用氣缸+電氣比例閥控制加載壓力,采用觸摸屏+PLC控制方式。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

單位

YH2M13B-9L

YH2M8432C

YH2M8432E

YH2M8436B

YH2M18B

YH2M22B

研磨盤尺寸

(外徑x內(nèi)徑x厚度)

mm

φ978x

φ558x45

φ1070x

φ495x45

φ1070x

φ495x45

φ1140x

φ375x45

φ1280x

φ449x50

φ1462x

φ494x50

行星輪規(guī)格

 

DP=12 Z=108

P=15.875 Z=64

P=16.842 Z=60

P=15.875 Z=84

P=21.053 Z=71

M=3 Z=184

放置行星輪數(shù)量

n

3≤n≤9

3≤n≤7

3≤n≤7

3≤n≤5

3≤n≤5

3≤n≤5

加工件最大尺寸

mm

φ180

(對(duì)角線)

φ280

(對(duì)角線)

φ280

(對(duì)角線)

φ360

(對(duì)角線)

φ420

(對(duì)角線)

φ480

(對(duì)角線)

加工件最小厚度尺寸

mm

0.4

0.6

0.3

研磨件平面度

mm

0.006(φ100)

 

拋光件平面度

mm

0.008(φ100)

 

研磨件表面粗糙度

μm

Ra0.15

0.04

拋光件表面粗糙度

μm

 

Ra0.05

 

外形尺寸

(約:長(zhǎng)x寬x高)

mm

1650x1300 x2650

 

1510x1450 x2650

1800x1500 x2650

2200x1750 x2690

3800x3300 x3600

整機(jī)重量(約)

kg

2600

3500

3200

3000

5000

11000

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