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YH2M8432F 立式雙面拋光機(jī)


本機(jī)主要用于硅、鍺、石英晶體等半導(dǎo)體材料及光學(xué)玻璃、陶瓷等非金屬硬脆性材料制作的薄片零件的雙面研磨和拋光。

典型加工零件

硅片

硅片

石英石玻璃

石英石玻璃

光學(xué)玻璃

光學(xué)玻璃

陶瓷

陶瓷

設(shè)備亮點(diǎn)

1、 本機(jī)托盤、下盤、空心軸通過高剛度、高精度的軸承及固定套承載,可以保證極高的托盤端跳;固定套、空心軸等采用內(nèi)外孔磨削工藝。

2 齒圈抬升形式:新研發(fā)了外齒圈抬升機(jī)構(gòu),抬升精度更高,一致性好,抬升無卡滯現(xiàn)象發(fā)生,游星輪運(yùn)動精度更高,更換拋光墊更方便。

3 游星輪嚙合形式:新設(shè)計(jì)柱銷嚙合,當(dāng)內(nèi)齒圈或者太陽輪齒形磨損時(shí),可快捷拆卸單個(gè)柱銷更換,無需更換整個(gè)內(nèi)齒圈或者太陽輪,成本低廉,維護(hù)更方便。

4 為實(shí)現(xiàn)后續(xù)工業(yè)機(jī)器人自動化上下料功能,本機(jī)太陽輪部件和下盤驅(qū)動部件采用伺服電機(jī)控制,配合外齒圈定位裝置中的氣缸進(jìn)行上下運(yùn)動準(zhǔn)確定位外齒圈錐形定位銷,以及旋轉(zhuǎn)后的二次精確定位,最終配合工業(yè)機(jī)器人取游星輪和工件上下料時(shí)無故障運(yùn)行。

5 本機(jī)供液裝置①采取獨(dú)立供液泵和攪拌泵,確保研磨液充分懸浮不沉淀,供液管路配件一律采用不銹鋼材質(zhì),管路選用鋼絲軟管,不易彎曲,流液槽采用封頭式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),多達(dá)40根出液管路,連接于上盤出液孔,確保研磨液出液均勻,流量大;②供液裝置(拋光儲液桶)具備冷卻功能,用戶可根據(jù)需要選擇接入冷卻水(管口規(guī)格內(nèi)徑:Φ12)接入冷卻水溫度≤15℃,壓力2Kg/cm2。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目

型號

拋光盤尺寸

Φ1070xΦ495x45mm

上研磨盤轉(zhuǎn)速

2-25r/min

下研磨盤轉(zhuǎn)速

2-50r/min

太陽輪轉(zhuǎn)速

2-22r/min

上盤升降行程

450mm

齒圈抬升行程

30mm

最大加工壓力

350Kg

下盤端面跳動允差

0.12mm

齒圈徑向跳動允差

0.25mm

齒圈端面跳動允差

0.25mm

太陽輪徑向跳動允差

0.15mm

太陽輪端面跳動允差

0.15mm

電源

三相五線AC380V

設(shè)備總功率

15KW

主機(jī)尺寸(長×寬×高)

約1800×1500×2900mm

整機(jī)重量

約3500Kg

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